微細加工入門-20-エピタキシャル成長技術
書誌事項
- タイトル別名
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- ビサイ カコウ ニュウモン 20 エピタキシャル セイチョウ ギジュツ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- エレクトロニクス
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エレクトロニクス 32 (8), p69-74, 1987-08
東京 : オーム社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523951029590082944
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- NII論文ID
- 40000265681
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- NII書誌ID
- AN00025075
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- ISSN
- 04213513
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- NDL書誌ID
- 3142805
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles