シンクロトロン放射光によるテフロンの高アスペクト比微細加工--TIEGA
書誌事項
- タイトル別名
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- シンクロトロン ホウシャコウ ニ ヨル テフロン ノ コウアスペクトヒ ビサイ カコウ TIEGA
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 放射線と産業 = Radiation and industries / 放射線利用振興協会高崎事業所 編
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放射線と産業 = Radiation and industries / 放射線利用振興協会高崎事業所 編 (84), 54-57, 1999-12
東海村 (茨城県) : 放射線利用振興協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523951029697431680
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- NII論文ID
- 40004433114
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- NII書誌ID
- AN00368956
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- ISSN
- 02868873
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- NDL書誌ID
- 4987618
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles