フォトリソグラフィを利用したパラジウム複合膜の作製と水素透過性能の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- フォトリソグラフィ オ リヨウ シタ パラジウム フクゴウマク ノ サクセイ ト スイソ トウカ セイノウ ノ ヒョウカ
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収録刊行物
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- ENEOS technical review
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ENEOS technical review 57 (1), 13-16, 2015-02
東京 : 新日本石油潤滑油事業部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523951030147182848
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- NII論文ID
- 40020379336
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- NII書誌ID
- AA11843299
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- ISSN
- 13485008
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- NDL書誌ID
- 026195981
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP29(科学技術--化学・化学工業--燃料--石油)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles