大口径、低欠陥SiC単結晶成長の現状

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Other Title
  • ダイコウケイ テイケッカン SiC タンケッショウ セイチョウ ノ ゲンジョウ
  • 特集 ハードエレクトロニクス--超低損失パワーデバイス技術 ; 超低損失パワーデバイスの展望
  • トクシュウ ハード エレクトロニクス チョウテイ ソンシツ パワー デバイス ギジュツ ; チョウテイ ソンシツ パワー デバイス ノ テンボウ

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