CMPにおける材料除去能率向上に向けた研磨抵抗の要因解析
書誌事項
- タイトル別名
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- CMP ニ オケル ザイリョウ ジョキョ ノウリツ コウジョウ ニ ムケタ ケンマ テイコウ ノ ヨウイン カイセキ
- Analysis of Polishing Friction Factor for Material Removal Rate Improvement in CMP
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収録刊行物
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- 先端加工 = Journal of the Japan Society of Advanced Production Technology : 先端加工学会誌 / 先端加工学会編集委員会 編
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先端加工 = Journal of the Japan Society of Advanced Production Technology : 先端加工学会誌 / 先端加工学会編集委員会 編 29 (1), 53-58, 2011-07
金沢 : 先端加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523951030622530560
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- NII論文ID
- 40019166641
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- NII書誌ID
- AA11897185
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- ISSN
- 09163468
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- NDL書誌ID
- 023448522
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
