光学式非接触プローブの研究-2-小型一体化プローブ
書誌事項
- タイトル別名
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- コウガクシキ ヒ セッショク プローブ ノ ケンキュウ 2 コガタ イッタイカ
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抄録
記事分類: 測定・測定器
収録刊行物
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- 精密機械 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering : 精機学会誌
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精密機械 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering : 精機学会誌 51 (12), p2271-2276, 1985-12
東京 : 精機学会 ; [1933]-1985
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523951030636743808
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- NII論文ID
- 110001292051
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- NII書誌ID
- AN00130014
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- ISSN
- 03743543
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- NDL書誌ID
- 3050805
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles