低ノイズスイッチトキャパシタCV-ICを適用した振動型MEMSジャイロ
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- テイノイズスイッチトキャパシタ CV-IC オ テキヨウ シタ シンドウガタ MEMS ジャイロ
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- 三菱プレシジョン技報
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三菱プレシジョン技報 7 47-52, 2013
東京 : 三菱プレシジョン
