三次元集積化に向けた微小Auバンプ電極と接着剤のハイブリッド接合技術

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  • サンジゲン シュウセキカ ニ ムケタ ビショウ Au バンプ デンキョク ト セッチャクザイ ノ ハイブリッド セツゴウ ギジュツ
  • Hybrid Bonding Technology of Au Microbump and Adhesive for 3D Integration
  • 特集 接合・接着技術と部材
  • トクシュウ セツゴウ ・ セッチャク ギジュツ ト ブザイ

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