Mechanical performances of a symmetrical, monolithic three-dimensional fine-motion stage for nanometrology
書誌事項
- タイトル別名
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- Mechanical performances of a symmetrical monolithic three dimensional fine motion stage for nanometrology
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収録刊行物
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- 計量研究所報告
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計量研究所報告 49 (3), 325-332, 2000
つくば : 工業技術院計量研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1524232505032561024
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- NII論文ID
- 40000974493
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- NII書誌ID
- AN00073034
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- ISSN
- 03686051
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- NDL書誌ID
- 5460012
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles