XPSによる薄膜の膜厚測定
書誌事項
- タイトル別名
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- XPS ニ ヨル ハクマク ノ マクアツ ソクテイ
- 表面分析・構造解析<特集>
- ヒョウメン ブンセキ コウゾウ カイセキ トクシュウ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 島津評論 / 島津評論編集部 [編]
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島津評論 / 島津評論編集部 [編] 47 (1), p89-95, 1990-05
京都 : 島津評論編集部 ; 1940-
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1524232505060424192
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- NII論文ID
- 40001617048
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- NII書誌ID
- AN00107544
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- ISSN
- 0371005X
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- NDL書誌ID
- 3662586
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles