親水性膜及び疎水性膜に対するSRD,IPA乾燥効果
書誌事項
- タイトル別名
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- シンスイセイ マク オヨビ ソスイセイ マク ニ タイスル SRD IPA カンソウ コウカ
- lsopropyl alcohol (IPA) drying effect on hydrophilic and hydrophobic wafer surfaces
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説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
収録刊行物
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- エバラ時報 = Ebara engineering review
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エバラ時報 = Ebara engineering review (218), 23-28, 2008-01
東京 : 荏原製作所「エバラ時報」編集部
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1524232505151872128
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- NII論文ID
- 40015839410
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- NII書誌ID
- AN1022883X
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- ISSN
- 03853004
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- NDL書誌ID
- 9366707
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
