MEMS光学素子を用いた3次元形状計測技術
書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS コウガク ソシ オ モチイタ 3ジゲン ケイジョウ ケイソク ギジュツ
- 特集 多波光応用技術
- トクシュウ タハ ヒカリ オウヨウ ギジュツ
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収録刊行物
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- O plus E : Optics + electronics
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O plus E : Optics + electronics 34 (4), 300-306, 2012-04
東京 : アドコム・メディア
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1524232505162083584
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- NII論文ID
- 40019251186
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- NII書誌ID
- AN00360954
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- ISSN
- 09115943
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- NDL書誌ID
- 023625754
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles