フレネルレンズを用いた露光機用照明光学系--照明光学系へのフレネルレンズの使用例,およびその技術課題と対策
書誌事項
- タイトル別名
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- フレネル レンズ オ モチイタ ロコウキヨウ ショウメイ コウガクケイ ショウ
- 特集1 均質な照明を求めて-1-
- トクシュウ 1 キンシツ ナ ショウメイ オ モトメテ 1
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編
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光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 9 (5), 7-12, 1998-05
東京 : 日本工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1524232505498018176
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- NII論文ID
- 40004881148
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- NII書誌ID
- AA11758790
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- ISSN
- 0917026X
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- NDL書誌ID
- 4459054
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles