角度分解光電子分光法による深さ方向組成分析の高精度化の試み

書誌事項

タイトル別名
  • カクド ブンカイ コウデンシ ブンコウホウ ニ ヨル フカサ ホウコウ ソセイ ブンセキ ノ コウセイドカ ノ ココロミ
  • New approach to highly accurate depth profiling using angle-resolved photoelectron spectroscopy
  • 特集 極薄膜の深さ方向分析
  • トクシュウ キョクハクマク ノ フカサ ホウコウ ブンセキ

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