プラズマスパッタ白金薄膜の作製条件と電気的特性の関係
書誌事項
- タイトル別名
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- プラズマ スパッタ ハッキン ハクマク ノ サクセイ ジョウケン ト デンキテ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 大阪府立工業技術研究所報告 / 大阪府立工業技術研究所 編
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大阪府立工業技術研究所報告 / 大阪府立工業技術研究所 編 (74), p37-41, 1979-02
大阪 : 大阪府立工業技術研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1524232505554216832
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- NII論文ID
- 40003969536
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- NII書誌ID
- AN00031078
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- ISSN
- 02855267
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- NDL書誌ID
- 2043414
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles