高性能窒化膜プロセス向けキセノン循環型供給装置の開発

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  • コウセイノウ チッカ マク プロセス ムケ キセノン ジュンカンガタ キョウキュウ ソウチ ノ カイハツ

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抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他

収録刊行物

  • 大陽日酸技報

    大陽日酸技報 (24), 22-27, 2005

    東京 : 大陽日酸技術本部技報編集事務局

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1524232505684889984
  • NII論文ID
    40007229168
  • ISSN
    1349693X
  • NDL書誌ID
    7890058
  • Web Site
    https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7890058
  • 本文言語コード
    ja
  • NDL 雑誌分類
    • ZP8(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業)
  • データソース種別
    • NDL
    • CiNii Articles

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