Low-kインテグレーションにおける課題と解決策
書誌事項
- タイトル別名
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- Low kインテグレーション ニ オケル カダイ ト カイケツサク
- Light on the road to low-k integration
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収録刊行物
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- Semiconductor international. 日本版
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Semiconductor international. 日本版 6 (1), 17-22, 2009-01
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション
