303 Influence of oxidation at heat-treatment in the atmosphere of TiN film depodited by arc ion plating
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- MATSUE,Tatsuya
- 新居浜高専
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- NISHIDA,Masayuki
- 神戸高専
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- HANABUSA,Takao
- 徳島大学
Bibliographic Information
- Other Title
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- 303 大気中での熱処理におけるTiN薄膜の酸化に関する検討(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)
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- 学術講演会講演論文集
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学術講演会講演論文集 60 23-24, 2011-05-24
日本材料学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1541135670317001856
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- NII Article ID
- 110009484671
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- NII Book ID
- AA11881527
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- NDL-Digital
- CiNii Articles