29pA21P TMMOS+CO_2プラズマCVD法による透明な超はっ水薄膜の機械特性の評価(プラズマ基礎・応用)
書誌事項
- タイトル別名
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- 29pA21P EVALUATION OF THE TRANSPARENT ULTRA WATER-REPELLENT THIN FILMS BY TMMOS
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収録刊行物
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- プラズマ・核融合学会年会予稿集
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プラズマ・核融合学会年会予稿集 213-, 2002-11-20
プラズマ・核融合学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1541698620212829440
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- NII論文ID
- 110003745917
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- NII書誌ID
- AN10117056
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- NDL-Digital
- CiNii Articles