301 自己き裂治癒能力を有するSiN/SiC積層薄膜の創製(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)

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  • 301 Synthesis of SiN/SiC multilayer thin film having self crack-healing ability

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