Optimization on The Formation of (Al, Ti)N Thin Films by Ion beam Assisted eposition
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- TAKAHASHI,Yasuo
- 大阪大学接合科学研究所
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- LI,Shuguang
- 大阪大学接合科学研究所
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- IMAKITA,Tomoyuki
- 大阪大学接合科学研究所
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- IMATANI,Akihiro
- 大阪大学接合科学研究所
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- INOUE,Kattsunori
- 大阪大学接合科学研究所
Bibliographic Information
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- 233 イオンビームミキシング法による(Al, Ti)N薄膜形成の最適化
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- 溶接学会全国大会講演概要
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溶接学会全国大会講演概要 146-147, 2000-09-05
溶接学会
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- CRID
- 1541698620279593216
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- NII Article ID
- 110003431843
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- NII Book ID
- AN10273925
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- NDL-Digital
- CiNii Articles