305 イオンビーム支援蒸着法により作製したBN薄膜の機械的特性と内部応力緩和法の検討(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)

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  • 305 Evaluation of Mechanical Property and Internal Stress Relaxation for BN Films Prepared by Ion Beam Assisted Deposition Technique

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