305 Evaluation of Mechanical Property and Internal Stress Relaxation for BN Films Prepared by Ion Beam Assisted Deposition Technique
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- UEYAMA,Hiroki
- 兵庫県立大学大学院
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- HANAKI,Satoshi
- 兵庫県立大学大学院
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- NAKATANI,Masanori
- 兵庫県立大学大学院
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- UCHIDA,Hitoshi
- 兵庫県立大学大学院
Bibliographic Information
- Other Title
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- 305 イオンビーム支援蒸着法により作製したBN薄膜の機械的特性と内部応力緩和法の検討(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)
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- 学術講演会講演論文集
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学術講演会講演論文集 60 27-28, 2011-05-24
日本材料学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1541980095247134080
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- NII Article ID
- 110009484673
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- NII Book ID
- AA11881527
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- NDL-Digital
- CiNii Articles