302 Internal Stress Measurement in Functionally Graded Films of Aluminum and Aluminum Nitride
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- KUSAKA,Kazuya
- 徳島大学
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- TOMINAGA,Kikuo
- 徳島大学
Bibliographic Information
- Other Title
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- 302 アルミニウム-窒化アルミニウム傾斜機能薄膜の内部応力測定(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)
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Journal
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- 学術講演会講演論文集
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学術講演会講演論文集 60 21-22, 2011-05-24
日本材料学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1543387470130686720
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- NII Article ID
- 110009484670
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- NII Book ID
- AA11881527
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- NDL-Digital
- CiNii Articles