204 バイラテラルサーボによる除振台の制振に関する研究(OS7-1:ロボティクス・メカトロニクス(1),OS7:ロボティクス・メカトロニクス)

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  • 204 Study on Control of Vibration Isolation Table with Bilateral Servo System

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抄録

近年,人工股関節などの医療用器具や,半導体の露光装置(ステッパ)にはより精密な形状や加工が必要不可欠になってきているが,最も大きな外乱は振動である.そこで本研究では,マスタ・スレーブ方式の二対一組のシリンダを使用したバイラテラルサーボシステム(Bilateral Servo System,以下BSS)を用いて,除振台のアクティブ制振を行う.BSSは省スペースでありながら高出力が特徴であり,除振脚に内蔵したスレーブシリンダによる対称型または,力帰還型BSSにより制御することで,振動の制御と水平面を維持する制御を行うものである.

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