真空蒸着、スパッタ蒸着の光学・音響製品への応用

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タイトル別名
  • Apply vapour deposition method and sputtering method to optical and acoustic product
公開日
1996-06-21
公開者
一般社団法人電子情報通信学会

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説明

最近,材料科学の分野で特に応用分野の広がりつつある薄膜を使った機能性製品の開発が盛んに行われている.薄膜製法の中から,真空蒸着およびスパッタ蒸着の最近の技術を紹介すると共に,応用製品として,光学用誘電体多層膜(干渉フィルター)およびイヤホン振動板用ダイヤフラムを例に挙げ成膜技術および製品特性について述べる.

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1570009752432872064
  • NII論文ID
    110003293252
  • NII書誌ID
    AN10383978
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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