Engineering S/D Diffusion for Sub-100-nm Channel SOI MOSFETs
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- Kawamoto Akihiro
- Senior Member, IEEE
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- Sato Shingo
- Senior Member, IEEE
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- Omura Yasuhisa
- Senior Member, IEEE
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収録刊行物
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- 関西大学先端科学技術推進機構研究報告
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関西大学先端科学技術推進機構研究報告 23 106-112, 2008
関西大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1570009752648037888
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- NII論文ID
- 110007334377
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- NII書誌ID
- AA11851344
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- CiNii Articles