Process-Induced Morphological Defects in Epitaxial CVD Silicon Carbide
書誌事項
- 公開日
- 1997
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収録刊行物
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- Phys. stat. sol. (b)
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Phys. stat. sol. (b) 202 529-, 1997
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1570854174690150016
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- NII論文ID
- 10008217087
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- NII書誌ID
- AA00773464
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- データソース種別
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- CiNii Articles
