(110)Siの異方性エッチングを応用した加速度センサ
書誌事項
- タイトル別名
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- A Micromechanical Accelerometer Fabricated by (110)Si Anisotropic Etching
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. PS, 物理センサ研究会
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電気学会研究会資料. PS, 物理センサ研究会 1996 (6), 119-127, 1996-11-11
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1570854175519490944
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- NII論文ID
- 10019051614
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- NII書誌ID
- AA11135867
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles
