半導体製造プロセス大規模シミュレーション実験 (Virtual Wafer Fab.) の展開 : TCADドリブンECADによる効率的開発支援システムの構築

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説明

半導体製造プロセス/デバイスのシミュレーション実験を効率的に実行する仮想試作システムvwfが必要である. これまでの経緯と実現したキー技術, および適用例について述べる. さらに, LSI開発フローの中へ展開するための拡張部分について説明し, 今後必要なことを議論する. 1.commercialシミュレータの過去と現状 2.vwfの思想と, 適用カテゴリ 3.vwfの実例 4.TCADドリブンECADとLSI開発フローの各項目を含む.

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キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1571135652339036288
  • NII論文ID
    110003294483
  • NII書誌ID
    AN10013323
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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