RCWA(Rigorous Coupled-Wave Analysis) 法によるバイナリー格子の回折特性算出

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タイトル別名
  • Numerical Evaluation of Diffraction Characteristics of Binary Gratings by the RCWA Method

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  • CRID
    1571698599851485312
  • NII論文ID
    10014142014
  • NII書誌ID
    AN00346578
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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