A Technology for Suppressing Inter-Layer Dielectric Crack in a High Density DRAM

  • KIM B. C.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • KIM D. H.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • HUH W. K
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • BAE M. K.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • NAM J. W.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • LEE S. C.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • KIM J. S.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • KIM T. K.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • PARK Y. J.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • PARK J. S.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.
  • KIM K. N.
    Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.

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  • CRID
    1571698600116109952
  • NII論文ID
    10015752621
  • NII書誌ID
    AA10777858
  • 本文言語コード
    en
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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