AD法によるPZT膜の熱処理温度低温化の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Low temperature annealing of PZT films by aerosol deposition
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MAG, マグネティックス研究会
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電気学会研究会資料. MAG, マグネティックス研究会 2009 (1), 41-45, 2009-01-08
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571980075956068224
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- NII論文ID
- 10026074041
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- NII書誌ID
- AN00346760
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles