Effect of the target bias voltage during off-pulse period on the impulse magnetron sputtering

被引用文献1件

収録刊行物

  • Vacuum

    Vacuum 84 (12), 1368-1371, 2010

被引用文献 (1)*注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1572543026358374912
  • NII論文ID
    80021352136
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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