Air Flow and Contamination Control in a Clean Tunnel Type Clean Room ( Part II ) : Comparison of Particle Concentration and Number of Particle on a Wafer in Three Types Clean Tunnel
-
- OIKAWA Susumu
- 清水建設(株) 技術研究所
-
- 鈴木 良延
- 清水建設(株) 技術研究所
-
- 加瀬 隆雄
- 清水建設(株) 技術研究所
-
- 梶間 智明
- 清水建設(株) 技術研究所
-
- 原田 博司
- 清水建設(株) 技術研究所
Bibliographic Information
- Other Title
-
- 4218 部分層流指揮クリーンルームにおける気流・清浄度制御(その1) : 三つのタイプのクリーントンネルにおける粒子濃度とウエハ付着粒子数の比較
Search this article
Journal
-
- Summaries of technical papers of Annual Meeting Architectural Institute of Japan. D, Environmental engineering
-
Summaries of technical papers of Annual Meeting Architectural Institute of Japan. D, Environmental engineering (1986), 435-436, 1986-07-25
Architectural Institute of Japan
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1572543026859776128
-
- NII Article ID
- 110004171495
-
- NII Book ID
- AN10031052
-
- ISSN
- 09150145
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- CiNii Articles