圧電素子インパクト駆動機構を用いた部品の精密位置決め装置の開発(3自由度位置決め制御)

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  • CRID
    1572824499075342848
  • NII論文ID
    10004271789
  • NII書誌ID
    AN1018673X
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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