Vacuum Lithography Using Plasma Polymerization and Plasma Development
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- KIM Sung-O
- Functional Thin Films Lab., Dept. of Electrical Eng., INHA UNIV.
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- PARK Gu-Bum
- Dept. of Electrical Eng., YU HAN COLLEGE
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- PARK Bok-Kee
- Dept. of Electrical Eng., CHON BUK SAN UP UNIV.
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- CHO Ki-Sun
- Dept. of Electrical Eng., YU HAN COLLEGE
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- LEE Duck-Chool
- Functional Thin Films Lab., Dept. of Electrical Eng., INHA UNIV.
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 1997 (89), 149-152, 1997-12-15
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572824500347486720
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- NII論文ID
- 10019030332
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- NII書誌ID
- AA11501025
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- CiNii Articles