超高速EOウェハプローバによる集積回路内部診断

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タイトル別名
  • Internal Diagnoses of Ultrahigh-Speed Integrated Circuits Using Electro-Optic Wafer Prober

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説明

超高速集積回路の内部波形診断のために、外部EOS技術を用いてオートウエハプローバを開発した。ワークステーションによるシステム全体のリモート制御、ユーザインターフェースソフトウェア、オートEOプローブポジショナ、差動検出型EOSモジュールにより、ユーザビリティの向上と測定の高精度化を図った。その結果、システム性能として帯域70GHz、最小検出電圧1mV【square root】Hz、空間分解能2μmが得られた。実際に10-20Gbit, sで動作するGaAs集積回路の内部波形診断に適用し、本プローバの有効性を確認した。

収録刊行物

  • 信学技報

    信学技報 93 7-14, 1993

    一般社団法人電子情報通信学会

被引用文献 (1)*注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1572824502297898496
  • NII論文ID
    110003316907
  • NII書誌ID
    AN10013276
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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