超高速EOウェハプローバによる集積回路内部診断
書誌事項
- タイトル別名
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- Internal Diagnoses of Ultrahigh-Speed Integrated Circuits Using Electro-Optic Wafer Prober
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説明
超高速集積回路の内部波形診断のために、外部EOS技術を用いてオートウエハプローバを開発した。ワークステーションによるシステム全体のリモート制御、ユーザインターフェースソフトウェア、オートEOプローブポジショナ、差動検出型EOSモジュールにより、ユーザビリティの向上と測定の高精度化を図った。その結果、システム性能として帯域70GHz、最小検出電圧1mV【square root】Hz、空間分解能2μmが得られた。実際に10-20Gbit, sで動作するGaAs集積回路の内部波形診断に適用し、本プローバの有効性を確認した。
収録刊行物
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- 信学技報
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信学技報 93 7-14, 1993
一般社団法人電子情報通信学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572824502297898496
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- NII論文ID
- 110003316907
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- NII書誌ID
- AN10013276
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles