Synthesis of hafnium oxide thin films with ion beam assisted deposition(Physics, Processes, Instruments & Measurements)

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収録刊行物

  • Transactions of JWRI

    Transactions of JWRI 30 (1), 41-45, 2001-07

    大阪大学接合科学研究所

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390294252778682880
  • NII論文ID
    110006486100
  • NII書誌ID
    AA00867058
  • DOI
    10.18910/12457
  • HANDLE
    11094/12457
  • ISSN
    03874508
  • 本文言語コード
    en
  • データソース種別
    • JaLC
    • IRDB
    • CiNii Articles

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