TRENCH ISOLATION for 0.45μm ACTIVE PITCH and BELOW

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公開日
1995

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収録刊行物

  • IEDM

    IEDM 679 1995

被引用文献 (1)*注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1573387449740985984
  • NII論文ID
    10011775502
  • NII書誌ID
    BA04566798
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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