Pressure sensitivity in anisotropically ethced thin-diaphram pressure sensors
書誌事項
- 公開日
- 1979
この論文をさがす
収録刊行物
-
- IEEE Trans. Electon Devices
-
IEEE Trans. Electon Devices 26 (12), 1887-1896, 1979
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1573387451272332160
-
- NII論文ID
- 80000416748
-
- NII書誌ID
- AA00667820
-
- データソース種別
-
- CiNii Articles