ポーラスな感応膜を用いた弾性波センサー

参考文献4件

書誌事項

タイトル別名
  • SAW gas sensor using sensing film with porous structure

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説明

高機能なSAWセンサーの実現は被測定物質の吸着に伴う複数の物理量の変化を大きくすることが必要である。そのため、ポーラスな構造を持つ感応膜を使用することは有効な手段である。本研究では、SAWセンサーの感応膜として、ポーラスな構造を有するゴム系高分子膜と金属担持アルミナ膜を使用し、センサーの基本特性を測定した。実験結果よりこれらの材料をSAWセンサーの感応膜の有効性を示した。また、ゴム系材料に機能分子付加した感応膜も同系統のガスを識別することも可能であった。

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キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1573387452153592448
  • NII論文ID
    110003293563
  • NII書誌ID
    AN10383978
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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