フラッシュメモリの信頼性
書誌事項
- タイトル別名
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- Reliability issues of Flash memory cells.
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説明
フラッシュメモリの信頼性を各種書き込み消去方式で比較した。特に、トンネル酸化膜を通過するFowler-Nordheim(FN)トンネル電流によるトンネル酸化膜の劣化(トラップ,リーク電流の生成)とメモリセルの信頼性に評価した。書き込み・消去時にトンネル酸化膜に双方向のFowler-Nordheimトンネル電流を流す場合では、一方向に比べて、ストレスリーク電流が減少し、それに伴いデータ保持特性が向上しする。さらに、TDDB寿命も向上する。
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
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電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 93 (191), 41-48, 1993-08-23
一般社団法人電子情報通信学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573668927233476096
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- NII論文ID
- 110003309890
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- NII書誌ID
- AN10013254
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles