ポリシリコン薄膜微小機械要素の引張強度特性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Fracture Behavior of Polycrystalline Silicon Thin Films under Tensile Loading
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会
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電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2004 (1), 1-4, 2004-02-27
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573950399658488704
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- NII論文ID
- 10014415319
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- NII書誌ID
- AA11471751
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles