集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減

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タイトル別名
  • Reduction of Temperature Coefficient of Resistance of NiCr-Gauge-Thin-Film for Intergraded Tactile Sensor

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  • CRID
    1573950400807570816
  • NII論文ID
    10026377331
  • NII書誌ID
    AA11486078
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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