a-Siカラーフィルタを用いた2μm画素MOSイメージセンサ(プロセッサ, DSP, 画像処理技術及び一般)

笠野 真弘, 稲葉 雄一, 森 三佳, 春日 繁孝, 村田 隆彦, 山口 琢己

a-Siカラーフィルタを用いた2μm画素MOSイメージセンサ(プロセッサ, DSP, 画像処理技術及び一般)

笠野真弘

松下電器産業株式会社半導体社半導体デバイス研究センター
稲葉雄一

松下電器産業株式会社半導体社半導体デバイス研究センター
森三佳

松下電器産業株式会社半導体社半導体デバイス研究センター
春日繁孝

松下電器産業株式会社半導体社半導体デバイス研究センター
村田隆彦

松下電器産業株式会社半導体社半導体デバイス研究センター
山口琢己

松下電器産業株式会社半導体社半導体デバイス研究センター

書誌事項

タイトル別名

A 2.0μm Pixel Pitch MOS Image Sensor with an Amorphous Si Film Color Filter

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説明

検出回路アンプの4画素共有化技術と新規駆動方式により、1画素あたりのトランジスタ数1.5個を実現し、0.15μmの微細設計ルールを採用することで、約40%の配線面積の削減を実現した。さらに、アモルファスシリコン(a-Si)からなるカラーフィルタを開発し、有機顔料カラーフィルタに比べ1/10の薄型化を達成し、高集光率を実現した。結果として、30%の開口率を有する2.0μm画素サイズMOSイメージセンサを実現した。