薄膜とその微細加工--軽薄短小化時代を担う薄膜技術

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タイトル別名
  • ハクマク ト ソノ ビサイ カコウ ケイハク タンショウカ ジダイ オ ニナウ
  • 真空<特集>
  • シンクウ トクシュウ

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説明

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌

収録刊行物

  • 日本の科学と技術

    日本の科学と技術 28 (243), p39-45, 1987-01

    東京 : 日本科学技術振興財団・科学技術館

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