Hetero-Epitaxial Growth of 3C-SiC on Carbonized Silicon Substrates

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1870020692634568320

• DOI

  10.4028/www.scientific.net/msf.433-436.229

• ISSN

  16629752

• データソース種別

  • OpenAIRE