Nano-scale fabrication and modification of mechanical properties of single crystal Si by use of highly charged ion beam

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タイトル
Nano-scale fabrication and modification of mechanical properties of single crystal Si by use of highly charged ion beam
タイトル別名
  • 多価イオンビームを用いた単結晶シリコンのナノスケール加工と機械的特性の改質
  • タカ イオン ビーム オ モチイタ タンケッショウ シリコン ノ ナノスケール カコウ ト キカイテキ トクセイ ノ カイシツ
著者
S.A.Pahlovy
著者別名
  • シャジェダ アハメド パロガィー
学位授与大学
高知工科大学
取得学位
博士 (工学)
学位授与番号
甲第132号
学位授与年月日
2008-03-21

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博士論文

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