Dependence of stacking fault and twin densities on deposition conditions during 3C-SiC heteroepitaxial growth on on-axis Si(100) substrates

書誌事項

タイトル
Dependence of stacking fault and twin densities on deposition conditions during 3C-SiC heteroepitaxial growth on on-axis Si(100) substrates
著者
Jungheum Yun, T.Takahashi, Y.Ishida, H.Okumura

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詳細情報

  • CRID
    1010000781605401473
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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